استفاده
مشخصات فنی
گاز دیفلورورمتان ( CH2F2 ) یک گاز اچینگ ناهمسانگرد برای تشکیل ویژگی های ابعادی بالا در سیلیکون و اکسید سیلیکون است. همچنین با عنوان هالوکربن 32 شناخته شده و در صنعت تولید میکرو تراشه ها،MEMS، و نمایشگرهای صفحه تخت مورد استفاده قرار می گیرد.